英福康INFICON氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理
1、燈絲無法正常啟動，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。
2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對故障進(jìn)行定位，交由維修ZX處理。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢測開始時出現(xiàn)的故障
1、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)
檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應(yīng)。
2、檢漏鍵無效(指示燈不亮)
I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時氦質(zhì)譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號，而不接受遙控器信號，檢漏鍵無效。
氦質(zhì)譜檢漏儀自動校準(zhǔn)結(jié)束時出現(xiàn)的故障
自動校準(zhǔn)失敗(燈絲亮)紅色校準(zhǔn)燈亮。首先檢查自動校準(zhǔn)設(shè)置，開關(guān)S1是否處于OFF位置，所設(shè)置的漏率值和標(biāo)準(zhǔn)漏孔值是否一致。溫度傳感器是否接上;其次是檢查靈敏度，清洗質(zhì)譜室(如果用外部校準(zhǔn)漏孔檢查顯示值和實(shí)際值一致，氦質(zhì)譜檢漏儀也可使用)。
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