氦質(zhì)譜檢漏儀機(jī)械泵和分子泵故障維修及處理方法：
氦質(zhì)譜檢漏儀機(jī)械泵故障及處理：
1、機(jī)械泵不動(dòng)作
檢查項(xiàng)目有：氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓是否正常，開(kāi)關(guān)是否打開(kāi)，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過(guò)熱(泵冷卻后是否能啟動(dòng))。
2、機(jī)械泵聲音異常
檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過(guò)濾器的出口有無(wú)氣體排出(如果無(wú)氣體排出，更換油霧過(guò)濾器)。
氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理：
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒(méi)有工作
有可能是前級(jí)壓力過(guò)高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無(wú)法啟動(dòng)。檢查導(dǎo)致壓力過(guò)高的項(xiàng)目有：真空規(guī)管是否有問(wèn)題，分子泵出口是否打開(kāi)，機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動(dòng)，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動(dòng)葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動(dòng)。
2、分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷，更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。
3、分子泵故障燈亮
檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否處于R位置，此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。
氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理
1、燈絲無(wú)法正常啟動(dòng)，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無(wú)法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開(kāi)路，若開(kāi)路，需要更換燈絲，若不開(kāi)路，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。
2、本底信號(hào)處于雜亂無(wú)章的波動(dòng)狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無(wú)法解決，只需對(duì)故障進(jìn)行定位，交由維修處理。
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